真空鍍膜機(jī)檢漏，當(dāng)鍍膜機(jī)內(nèi)部真空度下降到一定程度，如低于0.5mbar時(shí)，對疑似泄漏處噴氦氣，或檢查標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)時(shí)移動的部件。這時(shí)需要有人觀察檢漏儀漏率指示值的變化。當(dāng)泄漏率上升或泄漏率值急劇變化時(shí)，及時(shí)指出泄漏點(diǎn)的位置，并做好標(biāo)記。

1)、將氦質(zhì)譜檢漏儀BW-930B連接到泵單元前的檢漏口。
2)、啟動檢漏儀，檢漏儀開始抽取密閉腔內(nèi)的氣體，同時(shí)啟動涂裝設(shè)備泵組。
3）、當(dāng)鍍膜機(jī)內(nèi)部真空度下降到一定程度，如低于0.5mbar時(shí)，對疑似泄漏處噴氦氣，或在標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)時(shí)檢查運(yùn)動部件。這有時(shí)需要有人觀察檢漏儀漏率指示值的變化。當(dāng)泄漏率升高或泄漏率值急劇變化時(shí)，及時(shí)指出泄漏點(diǎn)的位置并作標(biāo)記。
4）所有可疑點(diǎn)檢測完畢后，關(guān)閉檢漏儀，停止涂布機(jī)泵組，開啟涂布機(jī)，對檢測到的泄漏點(diǎn)進(jìn)行處理（如更換密封圈、清洗等） .處理完成后，按照前面的步驟再次檢查。直到所有泄漏被清除，泄漏檢測過程才算完成。

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